真空等离子喷涂设备组成

真空等离子喷涂设备组成
ＺＢ３０００型真空等离子喷涂设备的主机为ＺＢ８０等离子喷涂系统，配备真空室、过滤器、真空机组、控制柜、真空喷涂枪及机械手等组成一套完整的真空等离子喷涂系统。
（１）真空室采用不锈钢焊接而成，双层水冷结构，内部尺寸２０００ｍｍ×２６００ｍｍ，外形尺寸约为２２００ｍｍ×３２００ｍｍ，真空室极限真空度为１Ｐａ，工作真空度为１０００Ｐａ。
（２）粉尘过滤器材质为不锈钢，油浴水冷结构，既可以降低喷涂室中抽出的气体的温度，又可以有效去除气体中的粉尘，保护真空机组，提高其使用寿命。
（３）真空机组真空机组前级泵采用２Ｈ７０滑阀泵，主泵为ＺＪ３００罗茨泵，维持泵为Ｈ４０滑阀泵。
（４）控制柜控制柜用于控制真空机组和阀门的开闭及对工件进行预热、清洗等控制。
（５）真空等离子喷涂枪及工件操作系统采用ＺＢＱ型真空等离子喷涂枪、ＺＢＺ型真空转台和ＭＯＴＯＲＭＡＮ 机械手。机械手持重７ｋｇ， 重复定位精度±０１ｍｍ；真空转台为可倾斜式，承重２５０ｋｇ。